“MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)微机电系统于是以发展沦为一个极大的产业。微机电系统则是指微小的机械电子系统，例如比一粒花生米还要小的飞机或汽车，是由很多只有几百微米大小的零件构成的，而这些零件是用微电子等识加工技术制取出来的，既包括机械部件又包括电子部件。

　　小身材，大用途，想到麻省理工研发的生产这些微型系统的新办法吧～”　　MEMS的特点可归结三“M”,即微小型化(miniaturization)、多样性(multiplie-ity)和微电子技术(mieroeleetronies)。MEMS技术通过微型化和集成化修筑了一个全新的领域和产业,它可以已完成大尺寸机电系统所无法已完成的任务,也可嵌人大尺寸系统中,把自动化、智能化和可靠性提升到一个新的水平。　　MEMS的特点是微小但功能强大，虽然身材“短小”，其尺寸一般来说为1至100微米，但其在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及完全人们所认识到的所有领域中都具有十分辽阔的应用于前景。　　例如微加速度计可以用作汽车的安全气囊，当汽车再次发生撞击等交通事故时，汽车的加速度不会相当大，这时通过微加速度计可以辨别否再次发生爆胎事故。

若再次发生交通事故，微加速度计即可以收到指令，使安全气囊及时弹头出有，维护司机和乘客的安全性。又如，微惯性传感器及其构成的微型惯性测量人组系统能应用于制导系统、卫星控制系统、汽车自动驾驶仪、汽车防抱死系统(ABS)、平稳控制系统和玩具；微流量系统和微分析仪可用作微前进、伤员急救。MEMS系统还可以用作医疗、高密度存储和表明、光谱分析、信息采集等等。

现在早已顺利地生产出有了尖端直径为5mu;m的可以夹起一个红细胞的微型镊子，3mm大小的需要关掉的小汽车，可以在磁场中飞行中的像蝴蝶大小的飞机等。

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